激光干涉儀測量/機(jī)床/三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)：對銑床、磨床、車床、鏜床、線切割、CNC數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)、影像測量儀器精度誤差檢測校正補(bǔ)償，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)臺、旋轉(zhuǎn)軸、直線軸等幾何參量動態(tài)測量性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，定位精度檢測、反向間隙補(bǔ)償、絲桿誤差分析。可以補(bǔ)償系統(tǒng):西門子 發(fā)那科 三菱 海得漢 發(fā)格 新代 廣數(shù) 華中 凱恩帝等。各地都可以上門服務(wù)。

激光干涉儀可以完成以下測量：

1、在機(jī)械制造領(lǐng)域中，可以用來檢測零部件的尺寸誤差和形狀誤差。

2、幾何參量高精度測量：激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精度測量。

3、運(yùn)動設(shè)備導(dǎo)軌的檢測：激光干涉儀可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

4、同步測量：激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量。

5、回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)：激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。

6、動態(tài)測量與分析：激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

7、誤差補(bǔ)償表生成：激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

8、環(huán)境補(bǔ)償：激光干涉儀支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組（線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動轉(zhuǎn)臺），可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數(shù)的高精度測量。在激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

數(shù)控機(jī)床在裝配完成后，其定位精度一般是達(dá)不到精度要求的，單靠提高零件加工精度，或者提高裝配質(zhì)量來保證機(jī)床精度，將增加制造成本，而使用數(shù)控系統(tǒng)的“螺距誤差補(bǔ)償"功能，對數(shù)控機(jī)床的誤差進(jìn)行補(bǔ)償，是有效又經(jīng)濟(jì)的方法，激光干涉儀可以進(jìn)行誤差測量和補(bǔ)償。

激光干涉儀測量/機(jī)床/三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)設(shè)備、檢測內(nèi)容：

激光干涉儀測量、機(jī)床、三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)的設(shè)備：

1、各類測量機(jī)構(gòu)、儀器的位移測量精度檢測：彈簧試驗(yàn)機(jī)、三坐標(biāo)機(jī)、投影儀、顯微鏡。
2、各類普通機(jī)床精度檢測：車床、銑床、磨床、鏜床、鉆床、線切割、火花機(jī)等。
3、各類數(shù)控機(jī)床的配套使用：數(shù)控銑床、加工中心、數(shù)控磨、數(shù)控龍門銑床、數(shù)控鏜銑床、數(shù)控車床等。
4、可接pc、plc用于各類自動化設(shè)備的位移測量精度測量。

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激光干涉儀測量、機(jī)床、三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)內(nèi)容：

1. ?幾何參數(shù)測量?：激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參數(shù)的高精度測量?
   。例如，它可以測量機(jī)床導(dǎo)軌的平行度和垂直度，這些測量在光學(xué)、機(jī)械、電子等各種領(lǐng)域都有應(yīng)用?
   。

2. 運(yùn)動設(shè)備導(dǎo)軌的檢測?：激光干涉儀可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等運(yùn)動設(shè)備導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等?
   。

3. ?動態(tài)測量與分析?：激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可用于振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等?
   。

4. ?誤差補(bǔ)償?：激光干涉儀可以根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)?
   。

5. ?環(huán)境補(bǔ)償?：激光干涉儀支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償，以減少環(huán)境變化對測量結(jié)果的影響?
   。

6. ?特殊應(yīng)用?：激光干涉儀還可以用于半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等特殊場合?
   。

● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的測量；

 ● 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

 ● 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量；

 ● 可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

 ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

 ● 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

 ● 支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀精度檢測，球桿儀檢測，可測45米，采用干涉儀實(shí)際測量精度每米0.095ppm約0.1微米每米.可進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償！三坐標(biāo)測量精度檢測等，可以補(bǔ)償系統(tǒng):西門子 發(fā)那科 三菱 海得漢 發(fā)格 新代 廣數(shù) 華中 凱恩帝等

雷尼紹激光干涉儀鐳射校正•無線球桿儀•無線回轉(zhuǎn)軸•三軸五軸數(shù)控機(jī)床定位精度•重復(fù)定位精度檢測補(bǔ)償、反向間隙檢測校正，旋轉(zhuǎn)軸•直線軸均可測量，可上門服務(wù)。

       在線動平衡上門服務(wù)（日本西格瑪）

1.進(jìn)口二三四五軸數(shù)控機(jī)床。

2.國產(chǎn)二三四五軸數(shù)控機(jī)床。

3.數(shù)控機(jī)床類型：加工中心•車床•車銑復(fù)合•磨床•中走絲•慢走絲•線切割•火花機(jī)•鏡面放電•三次元•三坐標(biāo)•小黃機(jī)•自動化設(shè)備•激光切割機(jī)•五軸刀具磨•五軸磨床•五軸立臥式車銑鉆磨復(fù)合等

4.數(shù)控系統(tǒng)類型：法那科•西門子• 法格•三菱•寶元•新代•海德漢•華中•廣數(shù)•臺達(dá)•萊納克•維宏•北京精雕等。

5.《定位精度+重復(fù)定位精度+球桿儀圓度幾何精度+ABC旋轉(zhuǎn)軸》可上門服務(wù)，

激光干涉儀測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正，設(shè)備重復(fù)定位精度，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量，鐳射補(bǔ)償，激光補(bǔ)償，螺距補(bǔ)償，恢復(fù)機(jī)床精度。上門服務(wù)

激光干涉儀檢測，回轉(zhuǎn)精度檢測，數(shù)控機(jī)床定位精度檢測 激光干涉儀測量！測量機(jī)床定位/重復(fù)定位精度，誤差補(bǔ)償！??三軸定位精度檢測 ??反向間隙補(bǔ)償 ??絲桿誤差分析

提供可視化數(shù)據(jù)報(bào)告+校準(zhǔn)建議，機(jī)床體檢專家上門服務(wù)！

激光干涉儀測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正/補(bǔ)償，設(shè)備重復(fù)定位精度，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量，數(shù)控機(jī)床做絲杠補(bǔ)償，可上門檢測服務(wù)。

激光干涉儀測量/各種系統(tǒng)的數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正，設(shè)備重復(fù)定位精度，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量，上門服務(wù)。有需要檢測校正的聯(lián)系。

機(jī)床定位精度補(bǔ)償、機(jī)床精度檢測，法那科，西門子，海德漢，法格，華中，三菱機(jī)床，螺距補(bǔ)償，各系統(tǒng)五軸，三軸都可以。

自動化設(shè)備定位精度補(bǔ)償！球桿儀五軸轉(zhuǎn)臺檢測，慢走絲、加工中心螺桿檢測，節(jié)距補(bǔ)償，機(jī)床精度補(bǔ)償，坐標(biāo)機(jī)補(bǔ)償檢測，

激光干涉儀測量，直線軸，搖籃擺頭，轉(zhuǎn)臺都可測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正，設(shè)備重復(fù)定位精度，上門服務(wù)。

激光干涉儀測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正，西門子，發(fā)那科，新代，三菱等等系統(tǒng)的，備重復(fù)定位精度，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量，上門服務(wù)。帶R值測量 可接維修

激光干涉儀高精度線性定位直線回轉(zhuǎn)角度鐳射精度測量，數(shù)控機(jī)床加工中心精度檢測服務(wù)

直線度平行度激光檢測平面度垂直度測量，雙頻激光干涉儀 直線度垂直度平行度平面度 激光干涉檢測儀

五軸、回轉(zhuǎn)臺精度檢測 機(jī)床精度檢測，激光干涉儀機(jī)床加工中心三坐標(biāo)落地高精度垂直度水平調(diào)節(jié)儀

激光干涉儀 激光切割機(jī)、大型機(jī)床精度校準(zhǔn)，數(shù)控機(jī)床激光干涉儀精度檢測 鏜銑床補(bǔ)償服務(wù)，機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀高精度測量 線性測量 定位精度，導(dǎo)軌運(yùn)動精度診斷校準(zhǔn)，激光干涉儀 進(jìn)行數(shù)控機(jī)床螺距誤差補(bǔ)償，回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。

激光干涉儀測量、機(jī)床、三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)案例：

機(jī)床加工中心校正步驟與方法

1. ?誤差檢測與補(bǔ)償技術(shù)?

• ?基座加工法?

  ：加工特定試驗(yàn)工件（如多臺階結(jié)構(gòu)），通過測量實(shí)際尺寸與理論值的偏差識別誤差來源，調(diào)整機(jī)床參數(shù)（旋轉(zhuǎn)軸坐標(biāo)、刀具補(bǔ)償值等）并反復(fù)驗(yàn)證。

• ?手動RTCP校準(zhǔn)?

  ：使用球頭檢棒和百分表檢測旋轉(zhuǎn)軸（如C軸、A軸）的回轉(zhuǎn)中心偏差，調(diào)整數(shù)控系統(tǒng)中的RTCP參數(shù)。例如，通過旋轉(zhuǎn)C軸記錄千分表讀數(shù)變化，修正XY平面內(nèi)的回轉(zhuǎn)中心坐標(biāo)。

• ?自動補(bǔ)償系統(tǒng)?

  ：利用接觸測頭與標(biāo)準(zhǔn)球測量13種幾何誤差（如軸芯偏離、垂直度誤差），自動生成補(bǔ)償參數(shù)。實(shí)測案例顯示，加工面段差可從12μm降至3μm。

2. ?機(jī)床結(jié)構(gòu)與工藝優(yōu)化?

• ?高剛性設(shè)計(jì)?

  ：優(yōu)化主軸與工作臺布局（如支撐架高度需大于主軸半徑1.5倍），減少加工變形。

• ?刀具與參數(shù)調(diào)整?

  ：選用高質(zhì)量刀具并監(jiān)控磨損，動態(tài)調(diào)節(jié)進(jìn)給速度以減少振動。例如，通過振動數(shù)據(jù)分析調(diào)整軸增益系數(shù)。

3. ?編程與加工策略?

• ?誤差轉(zhuǎn)移法?

  ：將機(jī)床誤差轉(zhuǎn)移至夾具或通過互為基準(zhǔn)加工抵消誤差。例如，使用浮動連接夾具分散主軸回轉(zhuǎn)誤差。

• ?分步加工與在線檢測?

  ：粗精加工分離，利用紅外測頭實(shí)時(shí)修正刀補(bǔ)值。復(fù)雜特征（如空間圓弧）采用五軸聯(lián)動局部加工并試切優(yōu)化程序。

4. ?維護(hù)與環(huán)境控制?

• ?定期校準(zhǔn)?

  ：使用激光干涉儀、球桿儀等工具檢測幾何誤差，長期使用后復(fù)校參數(shù)以防止地面沉降或溫度漂移。

• ?溫控措施?

  ：在恒溫車間運(yùn)行或配置熱誤差補(bǔ)償系統(tǒng)，減少熱變形影響。

典型案例與注意事項(xiàng)

• ?表面光潔度差?

  ：可能因刀具磨損、共振或爬行現(xiàn)象導(dǎo)致。需更換刀具、調(diào)整機(jī)床水平并加強(qiáng)潤滑，優(yōu)化冷卻液與主軸轉(zhuǎn)速。

• ?工件錐度偏差?

  ：檢查機(jī)床水平度、尾座與主軸同心度，優(yōu)化切削參數(shù)避免“讓刀"。

通過綜合應(yīng)用上述方法，可系統(tǒng)性恢復(fù)機(jī)床精度，提升加工質(zhì)量與設(shè)備壽命。

激光干涉計(jì)是基于光學(xué)干涉原理的測量儀器，核心組件包括分束器、反射鏡組、透鏡，

通過分析干涉條紋變化實(shí)現(xiàn)納米級位移檢測。

其L型臂腔結(jié)構(gòu)可延伸至4公里長度，激光在真空管道中經(jīng)反射鏡多次反射形成干涉圖樣，光程差變化可轉(zhuǎn)化為電信號進(jìn)行探測 。

該儀器應(yīng)用于引力波觀測、半導(dǎo)體制造及機(jī)床檢測領(lǐng)域。探測器通過4公里長臂實(shí)現(xiàn)引力波事件探測，

193納米深紫外激光干涉儀用于晶圓缺陷檢測物鏡評估，雷尼紹XL-80激光干涉儀支持球面光學(xué)元件多參數(shù)綜合測量。

測量系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.077納米，采樣頻率10MHz，集成數(shù)字化相移技術(shù)實(shí)現(xiàn)非接觸式面形檢測 [5]。

主要觀測裝置包括LIGO，通過多站點(diǎn)冗余網(wǎng)絡(luò)驗(yàn)證信號真實(shí)性

當(dāng)兩束光重遇后將發(fā)生干涉，并形成一個(gè)依賴于兩條光路光程差的圖樣。感應(yīng)器將對這個(gè)圖樣進(jìn)行測量并轉(zhuǎn)化為電信號。

因?yàn)橐Σ〞淖冞@個(gè)干涉圖樣，研究者們將通過檢測圖樣的變化以搜尋引力波。

干涉計(jì)的檢測結(jié)果，以判別信號是真地來自引力波還是來自于本地的干擾。

激光干涉儀機(jī)床平行度直線度線性檢測儀

可自動跟蹤反射鏡的激光干涉儀，類似定位系統(tǒng)（GPS）多點(diǎn)定位的測量原理，僅通過空間距離的測量來獲得空間位置信息。

可實(shí)現(xiàn)三坐標(biāo)測量機(jī)或機(jī)床空間幾何誤差的亞微米級精度測量分析以及校準(zhǔn)補(bǔ)償。

主體：可自動跟蹤靶球，以高精度識別幾何誤差，用于三坐標(biāo)測量機(jī)和機(jī)床的校準(zhǔn)，監(jiān)測和精度提升。

靶球：高達(dá)160°的工作角度范圍，可以直接檢測機(jī)器在工作點(diǎn)的移動情況。

傳感器：測量機(jī)器各軸的熱膨脹、環(huán)境溫度、氣壓及濕度，并對激光進(jìn)行補(bǔ)償。

應(yīng)用：

1.中小型、大型機(jī)床：測量校準(zhǔn)補(bǔ)償線性軸、旋轉(zhuǎn)軸所有的幾何誤差，高效提升機(jī)床精度；

2.為汽車模具制造商建立機(jī)床監(jiān)控系統(tǒng)；

3.用于飛機(jī)各地工廠機(jī)床和三坐標(biāo)測量機(jī)的認(rèn)證；

4.復(fù)雜高工件制造：測量校準(zhǔn)補(bǔ)償空間誤差，無需在數(shù)控加工中心上進(jìn)行代碼調(diào)整。

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行測量，也可以對手表零件等微小運(yùn)動進(jìn)行測量，既可以對幾何量如長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。

激光器發(fā)出兩個(gè)旋轉(zhuǎn)方向相反的圓偏光f1和f2，其頻差為Δf ，經(jīng)過 1/4波片后變成兩個(gè)振動方向相互垂直的線偏光，再經(jīng)過準(zhǔn)直系統(tǒng)后被分束鏡分為兩部分，其中一部分（約4%）被反射到振動方向45° 放置的檢偏器，按馬呂斯特定律合成新的線偏光，產(chǎn)生多普勒效應(yīng)的拍頻，其頻率為f2?f1，作為參考信號被光電探測器接收。投射的大部分光束被偏振分光鏡分為兩束， f2被反射到固定的角隅棱鏡后返回，1f透過偏振光鏡射向可動角隅棱鏡并返回。由于可動角隅棱鏡的運(yùn)動，使反射回來的光束頻率發(fā)生變化，變?yōu)閒1+Δf，這兩束光在偏振分光鏡處再次會合，投射到振動方向45°放置的檢偏器，按馬呂斯特定律合成新的線偏光，也產(chǎn)生多普勒效應(yīng)頻拍，其頻率f2 ? (f1+Δf)，作為測量信號被另一個(gè)光電探測器接收。以上兩支信號分別經(jīng)過交流放大器后被送入混頻器，解調(diào)出被測信號Δf ，用可逆計(jì)數(shù)器對±Δf 信號累計(jì)干涉條紋的變化數(shù)N可以計(jì)算出可動角隅棱鏡的位移量。

激光干涉儀可以更加快速、高精度地測量機(jī)床的定位和軸向數(shù)據(jù)，迅速完成整機(jī)的性能評估，停機(jī)時(shí)間可減少80%。

激光干涉儀軟件系統(tǒng)可對激光干涉儀采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析處理并生成測量報(bào)告。

快速測量

激光干涉儀可以更加快速、高精度測量機(jī)床的定位和軸向數(shù)據(jù)，迅速完成整機(jī)的性能評估，停機(jī)時(shí)間可減少80%。

6自由度測量

激光干涉儀，一次安裝即可測得包括x、y、z、俯仰角、偏擺角、滾動角在內(nèi)的6個(gè)參數(shù)，大幅提升測量效率。

適用于多種參數(shù)的測量

激光干涉儀可測量多種機(jī)床參數(shù)，包括速度、加速度、平行度、垂直度和平面度誤差等等。

緊湊式設(shè)計(jì)

激光干涉儀采用高集成緊湊式設(shè)計(jì)，各部件以合理的位置集成于主機(jī)之內(nèi)，使得整機(jī)小巧靈活，可輕松安裝在機(jī)床導(dǎo)軌或工作平臺上。

強(qiáng)大的軟件功能

激光干涉儀軟件具有直觀易懂、易于操作、功能豐富等特點(diǎn)，可快速生成數(shù)據(jù)分析報(bào)告。

服務(wù)&支持

技術(shù)團(tuán)隊(duì)隨時(shí)為您提供技術(shù)支持。

激光干涉儀，一次安裝可測6個(gè)參數(shù)（包括x、y、z、俯仰角、偏擺角、滾動角），大幅減少停機(jī)時(shí)間，為企業(yè)提高生產(chǎn)效率。其主要應(yīng)用領(lǐng)域包含但不限于：

• 旋轉(zhuǎn)誤差測量

• 幾何誤差測量

• 角度誤差測量

• 平面度誤差測量

• 垂直度誤差測量

• 平行度誤差測量

為您提供各式車床、銑床、鉆床、磨床、刨床、數(shù)控加工中心和三坐標(biāo)測量機(jī)等的校準(zhǔn)服務(wù)，使您的機(jī)床時(shí)刻處于好的工作狀態(tài)。而對于大型多軸機(jī)床，利用空間誤差補(bǔ)償技術(shù)，使用集成了干涉激光的激光跟蹤儀不間斷地跟蹤測量機(jī)床主軸的運(yùn)動，并在運(yùn)動空間內(nèi)可快速對多于400個(gè)位置進(jìn)行21項(xiàng)誤差參數(shù)的補(bǔ)償，讓機(jī)床的精度大幅提升。