激光干涉儀CHOTESE SJ6000機(jī)床儀器測(cè)距儀具有測(cè)量*度*、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率*等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的*測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等分析。

*、激光干涉儀CHOTESE SJ6000機(jī)床儀器測(cè)距儀實(shí)物圖：

二、特點(diǎn)、用途、技術(shù)參數(shù)：

• 產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000

• 產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

• 測(cè)量方式：單頻

• 穩(wěn)頻*度：±0.05ppm

• 測(cè)量*度：±0.5ppm（0-40）℃

• 線性測(cè)量距離：（0-80）m

• 測(cè)量分辨率：1nm

• 動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

• 預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

• 工作溫度范圍：（0-40）℃

• 環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

• 主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量*度*、操作方便

1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

　　激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，是迄今*的*、*靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在*端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

　　SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于*體，產(chǎn)品采用進(jìn)口*性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)*、*干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用*速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用*環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用*性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量*度*、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率*等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的*測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

2.產(chǎn)品配置

　　SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖*列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)*密轉(zhuǎn)臺(tái)。

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位*度、重復(fù)定位*度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

3.工作原理

　　激光器發(fā)射單*頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，*道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而*道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入*個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有*個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩*之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。

　　若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每*次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩*之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

4. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

◆*度*

　　SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)*、*干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用*環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，干涉光路穩(wěn)定可靠。

◆功能廣

 ● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的**密測(cè)量；

 ● 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等*密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位*度、重復(fù)定位*度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

 ● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

 ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

 ● 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

 ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

◆軟件強(qiáng)

 ●  友好的人機(jī)界面；

 ●  豐富的應(yīng)用功能模塊；

 ●  向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>

 ●  簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

 ●  支持中文、英文和俄文界面；

 ● 支持企業(yè)*屬模板定制。

三、使用環(huán)境幾保養(yǎng)：

1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。

2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。
3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用*的方法進(jìn)行清潔。
5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用*密儀表油潤(rùn)滑。
6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。

維護(hù)/激光干涉儀

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng)，儀器搬動(dòng) 時(shí)，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。 　

2、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡*般不允許擦拭，必要擦拭時(shí)，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上混合液輕拭。
3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5*密儀表油潤(rùn)滑。
4、使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。
5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。
6、 經(jīng)過(guò)*密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。